Conas an Glantóir Ultrasonach a Úsáid Chun na Sliseanna Sileacain Monacrystalline a Glanadh sa Tionscal Leathsheoltóra?

Le forbairt na teicneolaíochta ábhair leathsheoltóra, cuirtear ceanglais níos airde ar aghaidh freisin maidir le sonraíochtaí agus cáilíocht na sliseog sileacain, agus méadóidh an t-éileamh ar sliseog sileacain ar thrastomhas mór atá oiriúnach le haghaidh micreaphróiseála sa mhargadh. Úsáidtear leathsheoltóirí, sceallóga, ciorcaid chomhtháite, dearadh, leagan amach, sliseanna, déantúsaíocht, agus próisis go forleathan ar fud an domhain faoi láthair le próisis chun cinn gearrtha, meilt, snasta agus pacáistiú glan, ag déanamh dul chun cinn suntasach i dteicneolaíocht táirgthe scannán. Mar thoradh ar thabhairt isteach na teicneolaíochta nua-aimseartha is déanaí tá táirgeadh trialach agus forbairt sliseanna ardfheidhmíochta cosúil le SOI ag dul isteach sa chéim olltáirgeadh. Mar fhreagra air sin, mhéadaigh monaróirí sliseog sileacain a n-infheistíocht i dtrealamh le haghaidh sliseog sileacain 300mm, agus rinneadh tuilleadh mionchoigeartaithe ar na rialacha dearaidh. Trí úsáid a bhaint as teicneolaíocht glantacháin ultrasonaic, scuabtar an minicíocht ultrasonaic ar ais agus amach laistigh de raon réasúnta le linn an phróisis ghlantacháin, ag tiomáint an réiteach glantacháin chun aife fíneáil a dhéanamh, rud a fhágann go tapa salachar ó dhromchla an phíosa oibre agus é á scamhadh ag an ultrasonaic. , rud a fheabhsóidh éifeachtacht ghlantacháin.

Modh glantacháin ultrasonaic agus a threo socrúcháin

Cuir na sliseoga sileacain nite agus meilte go cothrománach ar fhráma slata grianchloch múnlaithe fál os cionn bun an umar glantacháin. Faoi choinníoll a chinntiú go bhfuil airde uisce dí-ianaithe agus sreabhadh leanúnach san umar glantacháin, bain úsáid as oscillator ultrasonaic atá suite ag bun an umar glantacháin le haghaidh glanadh. Is é an minicíocht ultrasonaic 40KHz. Cas ar na sliseog sileacain ar an talamh gach 5 nóiméad agus lean ar aghaidh ag ró-níochán go dtí nach dtiocfaidh aon truailleáin dhubha chun solais ar dhromchla na sliseog sileacain nite. Tá balla an umar glantacháin le haghaidh glanadh ultrasonaic na sliseog sileacain criostail aonair feistithe le inlet agus asraon, agus tá bun an umar feistithe le oscillator ultrasonaic. Taobh istigh den umar glantacháin, tá fráma ann chun sliseoga sileacain aonchriostail a chur. Tá balla bun an fhráma déanta ag slat grianchloch múnlaithe fál, agus tá an t-eitleán níos ísle ná leibhéal an uisce dí-ianaithe. Tá an fráma iomlán tacaithe ag cosa tacaíochta san umar glantacháin.

Le linn an chur i bhfeidhm sonrach, is é 15 ceintiméadar an fad idir an slat Grianchloch agus balla bun an umar glantacháin. Le linn glantacháin, is féidir an wafer sileacain monocrystalline a chur cothrom ar shlat Grianchloch, in ionad an superwashing ingearach atá ann cheana féin le superwashing cothrom, deireadh a chur le feiniméan na truailleán iarmharach carnadh ar dhromchla an wafer sileacain sa stát superwashing ingearach, a eascraíonn i glanadh neamhghlan. de cheantair áitiúla. Ina theannta sin, is féidir leis an gciseán bláthanna bog a iompraíonn an wafer sileacain tarchur na dtonnta ultrasonaic a ionsú agus a bhlocáil, rud a fhágann go n-imrítear glanadh neamhghlan ar limistéir áitiúla ar dhromchla an wafer sileacain, Tá na buntáistí a bhaineann le struchtúr níos simplí agus tomhaltas uisce laghdaithe.